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振动的测量不同于噪音测量所示的规格,振动测量方法及振动计有很多种。振动传感器包括位移计、速度针、加速度计等,其中与速度成比例的电动型以及与加速度成比例的压电型振动传感器较常使用。振动测量时,必须注意传感器的指向性与被测物的振动方向。安装振动传感器时,必须注意使振动不影响到自身。下图表示步进电机的振动测量功能框图和测量举例。
上图的测量举例,纵轴取振动加速度,横轴取作驱动频率,连续自动扫频测量。相对应的,下图为2相HB型步进电机的三维振动图形。
亦即,步进电机的驱动脉冲波连续自动扫频,每次记录频率分析的结果用三维表示。Y(倾斜)轴表示步进电机脉冲频率,X(横)轴表示振动频率,Z(纵)轴表示振动加速度。由此可以看出,何处的驱动脉冲,频率多少时,会产生的振动大小,一目了然,易于分析振动结果。
根上振动分析图,从振动大的地方看到,驱动脉冲的基波频率造成振动成分最大,且出现的振动点为其偶次谐波,180pps附近的振动为振动加速度与转子及其负载系统的自然频率的共振。
HB型步进电机转子及定子有多齿数的关系,激磁磁通含有很多的空间高次谐波,同时激磁电流也含有高次谐波,激磁磁通与电流之积所产生的电磁转矩也会包含转矩波动,引起径向振动。上振动分析图所示步进电机的振动主要是前者,而噪音或定子的径向振动的原因主要是后者。
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