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数控机床定位精度和重复精度的定义、计算方法、测试环境以及结果评价作了明确规定。该标准的所有内容同样适合并联运动机床。
定位精度通常可以采用各种激光干涉仪测量。例如英国的Renishaw 公司ML-10型激光机床精度校正仪采用氖氦激光管作为激光源,可在40m长度范围内进行位置测量,线性测量精度为定位精度为±0.7μm(0~40℃条件下),分辨力为0.001μm。
ML-10型激光机床精度校正仪适合于测量并联运动机床的定位精度和重复性,其工作原理如图。
从图中可见,测量时分光镜固定在机床主轴部件上,激光源发出激光束,通过分光镜分为两束投射到反光镜上,对反射回的激光束进行比较和计算,并经过软件进行处理,即可获得位置误差数据。
图7.21 ML-10型激光机床精度校正仪测量测量并联运动机床几何精度
采用激光干涉仪对Hexact型机床主轴部件在Y坐标方向位置精度进行测量,其结果如图所示。在Y坐标运动±150mm范围内,Z坐标的最大偏差是41.5μm,重复精度约为7μm。与机床结构对应,误差曲线具有对称特征。
图7.22 Hexact型机床的位置精度
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